专利名称：一种位移直线度测量的激光干涉系统专利类型：实用新型专利发明人：侯文玫,乐燕芬,句爱松申请号：CN201120390236.2申请日：20111014公开号：CN202274859U公开日：20120613
摘要：本实用新型涉及一种位移直线度测量的激光干涉系统，包含激光源、随被测件一起运动的楔角棱镜、位于该楔角棱镜一侧的光反射装置、位于所述楔角棱镜的另一侧与所述激光源之间的光干涉装置以及相位检测装置。其中，激光源产生频率稳定的入射光束，入射光束在光干涉装置的作用下，两次通过楔角棱镜，并相应两次被楔角和光反射装置反射，最后被输入相位检测装置，以相位差的变化量确定被测件的直线度。本实用新型的优点是：结构简单、测量精度高，可广泛应用于军工、航天及数控机床等领域的几何量精密测量和计量基准的建立。
申请人：上海理工大学
地址：200093 上海市杨浦区军工路516号
国籍：CN
代理机构：上海申汇专利代理有限公司
代理人：吴宝根
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