专利名称:一种真空镀膜机进气装置专利类型:实用新型专利发明人:金传千
申请号:CN201621306532.9申请日:20161201公开号:CN206375990U公开日:20170804
摘要:本实用新型涉及一种真空镀膜机进气装置,包含设置在镀膜机进气口的进气管道、设置有吸气口和出气口的水箱、两端分别连通水箱出气口和进气管道且通过电阻丝加热的加热管道;所述水箱的吸气口设置有下端伸直水箱底部的吸气管道;所述进气管道上分别设置有过滤器、电磁开关阀和调速阀;本实用新型通过水为过滤介质能过滤空气中大部分的杂质,使杂质粘附水中沉淀在水箱的底部,分离过滤效果好,且通过调速阀能有效控制空气流速,避免空气瞬间进入镀膜机内,损坏镀膜机内的精密仪表。
申请人:苏州市联超光电科技有限公司
地址:215500 江苏省苏州市常熟高新技术产业开发区黄浦江路96号6幢
国籍:CN
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