专利名称：一种镀膜机工艺气体进气管专利类型：实用新型专利
发明人：沈聚丰,周征华,刘强,朱小凤,王田英申请号：CN201620846891.7申请日：20160808公开号：CN205874536U公开日：20170111
摘要：本实用新型涉及镀膜机技术领域，具体地说是一种镀膜机工艺气体进气管，包括进气管本体、设在进气管本体上的若干气孔，其特征在于：由进气端开始沿进气管本体的轴向方向，所述气孔之间的间距总体为递减。本实用新型同现有技术相比，进气管本体上的气孔间距从进气端开始设计为总体呈递减趋势，能使出气量均匀，使工艺更稳定。
申请人：上海哈呐机电设备有限公司
地址：201500 上海市金山区朱泾镇大茫6011号-135室
国籍：CN
代理机构：上海硕力知识产权代理事务所
代理人：郭桂峰
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