（12）发明专利申请
（21）申请号 CN201711447671.2 （22）申请日 2017.12.27
（71）申请人 深圳市华星光电技术有限公司
地址 518000 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号
（10）申请公布号 CN108588667A
（43）申请公布日 2018.09.28
（72）发明人 黄秋平
（74）专利代理机构 深圳汇智容达专利商标事务所(普通合伙)
代理人 孙威
（51）Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
一种真空大气转换腔的充气装置及充气方法、真空溅射设备
（57）摘要
本发明公开了一种真空大气转换腔的充气
装置，包括：第一充气管路，第一充气管路上设有第一阀体；第二充气管路，第二充气管路上设有第二阀体；压力监控判断模块；氧气浓度监控判断模块；以及控制模块，其中：压力监控判断模块分别与真空大气转换腔和控制模块相连，氧气浓度监控判断模块分别与真空大气转换腔和控制模块相连，控制模块分别与第一阀体和第二阀体相连。本发明还公开了一种真空大气转换腔的
充气方法和真空溅射设备。实施本发明的真空大气转换腔的充气装置及充气方法、真空溅射设备，能够对充气的气体进行切换，在有效解决膜质氧化问题的基础上消除安全隐患。
法律状态
法律状态公告日
2018-09-28 2018-09-28 2018-10-26
法律状态信息
公开 公开
实质审查的生效
法律状态
公开 公开
实质审查的生效
权利要求说明书
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说明书
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