专利名称：声界面波器件及其制造方法专利类型：发明专利发明人：三岛直之申请号：CN98800584.0申请日：19980506公开号：CN1225760A公开日：19990811
摘要：本发明提供一种可以使电极激励的声波的变换效率提高,并避免电极间寄生电阻影响的声界面波器件及其制造方法。本发明在压电性第一基片2的主面上形成梳齿状电极3,在第一基体2的主面上形成电介质膜5以覆盖该梳齿状电极3并保持平滑表面4,再在其上粘合Si类第二基片6来构成。
申请人：东芝株式会社
地址：日本神奈川县
国籍：JP
代理机构：上海专利商标事务所
代理人：赵国华
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