静电容量型压力传感器、压力检测器及输入装置

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN2015100558.1 （22）申请日 2015.02.03 （71）申请人 欧姆龙株式会社

地址 日本京都府

（10）申请公布号 CN1048470A

（43）申请公布日 2015.08.19

（72）发明人 井上胜之;寺阪麻理子;佐野浩二;奥野敏明;古村由幸 （74）专利代理机构 北京市柳沈律师事务所

代理人 张劲松

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（）发明名称

静电容量型压力传感器、压力检测器及输入装置

（57）摘要

一种静电容量型压力传感器、压力检测器

及输入装置，在使用了半导体基板的静电容量型压力传感器中进一步扩大动态范围。通过电介体层(33)覆盖P型或N型的半导体基板(32)的上面。在电介体层的上面形成凹槽(34)。在电介体层的上面层叠上基板(35)。上基板(35)中与凹槽(34)相对的区域为可变形的隔膜(36)，隔膜(36)的外周部分(37)固定于电介体层的上面。在半导体基板的表层部设置有由具有与半导体基板反极

性的导电型的杂质层构成的固定电极(42)。另外，在半导体基板的表层部，在上基板(35)的被固定的区域(外周部分37)的下方形成有由具有与半导体基板反极性的导电型的杂质层构成的反极性层(46)。

法律状态

法律状态公告日

2015-08-19 2015-08-19 2015-09-16 2015-09-16 2020-03-10

法律状态信息

公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效

发明专利申请公布后的驳回法律状态

公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效

发明专利申请公布后的驳回

权利要求说明书

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说明书

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