图案化二氧化钛微结构的制备方法[发明专利]

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专利名称：图案化二氧化钛微结构的制备方法专利类型：发明专利发明人：陈淼,张瑞

申请号：CN200410100812.X申请日：20041210公开号：CN1785683A公开日：20060614

摘要：本发明公开了一种在平面基底上制备图案化二氧化钛微结构的方法。该方法以平面基片为基底，以二氧化钛溶胶为原料。首先，将单晶硅用光刻技术在其表面形成规则的图案，并以该膜板为模具，将聚二甲基硅氧烷浇注于单晶硅膜板的表面。熟化剥离可制得具有浮凸结构的硅橡胶弹性印章。然后，以二氧化钛溶胶作为“墨水”，利用微接触印刷技术在各种平面的基片上直接压印制得具有图案化微结构的二氧化钛薄膜。特点是省略了以长链烷基分子在基片上形成图案化的自组装单分子膜的步骤，这样不仅降低了实验成本而且还解决了自组装单分子膜在纳米颗粒的沉积中选择性不强的问题。得到的具有微图纹的二氧化钛微结构不仅图案清晰，边界分辨率高，而且可以得到与提拉法形成的二氧化钛薄膜具有相似的物化性质，提高了其应用范围和使用价值。本发明操作简单易行，没有苛刻的环境要求，容易批量生产。

申请人：中国科学院兰州化学物理研究所

地址：730000 甘肃省兰州市城关区天水路342号

国籍：CN

代理机构：兰州中科华西专利代理有限公司

代理人：方晓佳

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