专利名称：一种波长扫描共焦微位移测量装置及方法专利类型：发明专利
发明人：刘涛,杨树明,刘强,蒋庄德,王通申请号：CN201611127494.5申请日：20161209公开号：CN106767431A公开日：20170531
摘要：本发明一种波长扫描共焦微位移测量装置及方法，在共焦显微镜光路系统中，采用波长可调谐激光器照明，使用菲涅尔波带片进行聚焦点照明，根据菲涅尔波带片的轴向色差焦移特性，通过波长扫描实现聚焦光斑的轴向扫描，利用共焦针孔光电探测单元探测共焦轴向光学层析响应输出，针对离散波长λ＝λ+(n‑1)δλ,n＝1,2,...,11分别得到轴向光学层析位移——强度响应，其中λ为波长下限，波长上限为λ＝λ+10δλ，δλ为波长步进间隔，由每一条光学层析响应曲线的峰值位置构成照明波长与轴向位移的线性校准关系查找表，对待测样品各特征点分别执行一次精细波长扫描，由各响应曲线的峰值和查找表推算出各点的实际位移量，从而完成微位移或相对高度的测量，该方法适用微小位移、薄膜厚度和纳米台阶等的精密测量。
申请人：西安交通大学
地址：710049 陕西省西安市碑林区咸宁西路28号
国籍：CN
代理机构：西安智大知识产权代理事务所
代理人：段俊涛
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