专利名称：基于椭球反射照明共焦测量装置专利类型：发明专利发明人：刘俭,谭久彬,谭欣然申请号：CN201210244377.2申请日：20120705公开号：CN102818521A公开日：20121212
摘要：基于椭球反射照明共焦测量装置属于光学显微技术；在激光器直射光路上依次配置准直扩束器、大数值孔径聚焦物镜、针孔、三维微位移载物台、聚焦物镜、探测针孔和探测器，在激光器直射光路上、位于聚焦物镜与探测针孔之间部位处配置椭球反射镜，所述的椭球反射镜的远焦点位于针孔上，近焦点位于放置在三维微位移载物台上的样品表面上；本装置克服了传统共焦测量技术轴向分辨力受物镜数值孔径限制的不足，可以实现大数值孔径的照明，从而大幅度提高了系统的横向分辨力及轴向分辨力。
申请人：哈尔滨工业大学
地址：150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
国籍：CN
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