专利名称：流量传感器及其制造方法专利类型：发明专利
发明人：河野务,半泽惠二,德安升,田代忍申请号：CN201610390927.X申请日：20121204公开号：CN106092233A公开日：20161109
摘要：本发明提供一种能够抑制各流量传感器的性能偏差来实现性能提高(也包含提高可靠性来实现性能提高的情况)的技术。例如，在用上模具(UM)和下模具(BM)夹着搭载有半导体芯片(CHP1)的引线框(LF)时，搭载有半导体芯片(CHP1)的引线框(LF)和上模具(UM)之间设置有框体(FB)和弹性体薄膜(LAF)。此时，框体(FB)的高度高于流量检测部(FDU)的高度且框体(FB)的弹性系数小于半导体芯片(CHP1)的弹性系数。
申请人：日立汽车系统株式会社
地址：日本茨城县
国籍：JP
代理机构：北京尚诚知识产权代理有限公司
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