专利名称：一种方块式微机械谐振器专利类型：发明专利
发明人：鲍景富,蒋俊文,杜亦佳,凌源申请号：CN201210527711.5申请日：20121210公开号：CN103036527A公开日：20130410
摘要：该发明属于射频通信及微机电系统（MEMS）技术领域中的方块式谐振器。包括振动方块及分别固定于振动方块四边中点的由悬梁与固定梁组成的十字形支撑梁、支撑台，输入及输出电极，二氧化硅层，基底。该发明由于将振动方块通过十字形支撑梁固定于支撑台上，并在悬梁上找出当谐振器处于平面内弯曲振动时的静止点（零位移点）作为十字形支撑梁中悬梁与固定梁的固定点；该发明在仅考虑锚点损耗的情况下平面内弯曲振动模态MEMS谐振器的Q值可较背景技术提高2.5-3.2倍。因而该发明与背景技术相比具有可进一步提高平面内弯曲振动模态MEMS谐振器的Q值及方块式微机械谐振器的性能，以及可有效提高采用该谐振器的MEMS滤波器的性能等特点。
申请人：电子科技大学
地址：611731 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号
国籍：CN
代理机构：电子科技大学专利中心
代理人：詹福五
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