(12)发明专利申请
(21)申请号 CN201210061698.9 (22)申请日 2012.03.09 (71)申请人 北京工业大学
地址 100124 北京市朝阳区平乐园100号
(10)申请公布号 CN102593719A
(43)申请公布日 2012.07.18
(72)发明人 崔碧峰;计伟;陈京湘;郭伟玲;张松;王晓玲 (74)专利代理机构 北京思海天达知识产权代理有限公司
代理人 刘萍
(51)Int.CI
H01S5/22;
权利要求说明书 说明书 幅图
(54)发明名称
一种改善有源区光场分布的边发射半导体激光器
(57)摘要
一种改善有源区光场分布的边发射半导体
激光器,属于半导体光电子技术领域。包括衬底、N型限制层、N型波导层、多量子阱有源区、P型波导层、P型限制层、P型欧姆接触层构成的半导体激光器外延结构;同时包括了二氧化硅绝缘层、上层P型电极、下层N型电极,其中光栅结构生长在脊形台上,制作过程采用光刻工艺;划片后,将芯片烧结在铜热沉上,封装固定在散
热基座上。此结构中脊形台两侧光栅结构的引入改善了有源区光场分布,抑制了注入电流的横向扩展,从而降低半导体激光器的阈值电流。本发明制作工艺简单、成本低、重复性好。
法律状态
法律状态公告日
2012-07-18 2012-09-19 2014-07-16
法律状态信息
公开
实质审查的生效
发明专利申请公布后的驳回法律状态
公开
实质审查的生效
发明专利申请公布后的驳回
权利要求说明书
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说明书
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