OLED玻璃基板蒸镀机[发明专利]

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专利名称：OLED玻璃基板蒸镀机专利类型：发明专利发明人：南一虎,金铉东,赵芳申请号：CN201310001192.3申请日：20130104公开号：CN103014620A公开日：20130403

摘要：本发明提供一种OLED玻璃基板蒸镀机，此OLED玻璃基板蒸镀机包括主挡板和位于主挡板下方的第一点蒸发源和第二点蒸发源，玻璃基板设置于主挡板上方，第一点蒸发源和第二点蒸发源在玻璃基板上的蒸镀范围存在重合区域，还包括子挡板，子挡板设置于玻璃基板下方，且能够遮挡重合区域。通过控制子挡板开启和关闭的时间，使玻璃基板上的重合区域与其他部分附着的蒸镀物质的量接近均衡，改善蒸镀均一性，进而改善玻璃基板上膜层厚度的一致性，提高产品质量。

申请人：四川虹视显示技术有限公司

地址：611731 四川省成都市高新西区科新西街168号

国籍：CN

代理机构：成都虹桥专利事务所(普通合伙)

代理人：刘世平

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