专利名称：一种基于MEMS加工工艺的柱面电容传感器专利类型：发明专利
发明人：王文,文耀华,卢科青,相奎,陈子辰申请号：CN201210081249.0申请日：20120326公开号：CN102607394A公开日：20120725
摘要：本发明公开了一种基于MEMS加工工艺的柱面电容传感器。由主轴旋转电极和同轴安装在主轴旋转电极外的柱面固定电极构成；其中：主轴旋转电极：是在主轴外圆柱面向外依次包覆有第一绝缘层、主轴铜电极和第二绝缘层；柱面固定电极：是在电极基座内圆柱孔向内依次包覆有第三绝缘层、等电位保护环、第四绝缘层和四个等距嵌在第四绝缘层内圈的四个弧形电极。本发明采用MEMS加工工艺，能将电极加工得很薄，不仅可以克服主要常规方法制造柱面电容传感器时存在的复杂加工、装配工艺，缩小传感器的体积，而且还能抑制传感器的边缘效应，适合于高精度主轴回转误差监测。该工艺易于实现柱面电容传感器的小型化制作，同时易于实现传感器的批量化制作。
申请人：浙江大学
地址：310027 浙江省杭州市西湖区浙大路38号
国籍：CN
代理机构：杭州求是专利事务所有限公司
代理人：林怀禹
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