一种空心阴极等离子镀氮化钛薄膜工艺系统及装置[发明专利]

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专利名称：一种空心阴极等离子镀氮化钛薄膜工艺系统及装置专利类型：发明专利

发明人：潘文高,李朝明,韩虹,杜森,李运红申请号：CN201910201846.4申请日：20190318公开号：CN109837530A公开日：20190604

摘要：本发明公开了一种空心阴极等离子镀氮化钛薄膜工艺系统及装置，包括底板、开放式箱体和镀膜箱，开放式箱体和镀膜箱分别固定设置在底板顶端的两侧，开放式箱体内腔顶端的两侧均设置有第一电动推杆，第一电动推杆的底端固定设置有用于打磨工件的打磨机构，开放式箱体内腔中部的两侧均设置有用于夹紧工件的夹紧机构，夹紧机构的一端穿过开放式箱体并置于其外部，开放式箱体内腔的底端设置有清洗槽。本发明一种空心阴极等离子镀氮化钛薄膜工艺系统及装置，通过设有的打磨机构，能够对工件的表面打磨，减小工件表面的粗糙度，增强抛光工件镀膜后基体表面与薄膜的结合力，通过向清洗槽内注入特殊的清洗剂，利用超声波对油污层进行冲刷破坏。

申请人：上海离原环境科技有限公司

地址：200241 上海市闵行区东川路555号乙楼一层1001室(集中登记地)

国籍：CN

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