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一种抑制芯片漂移与翘曲的封装方法[发明专利]

来源:榕意旅游网
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:一种抑制芯片漂移与翘曲的封装方法专利类型:发明专利

发明人:杨冠南,罗绍根,崔成强,张昱申请号:CN202010148694.9申请日:20200305公开号:CN111430250A公开日:20200717

摘要:本发明涉及电子加工的技术领域,更具体地,涉及一种抑制芯片漂移与翘曲的封装方法,包括:S10.在第一刚性载板制作凹槽,将待封装芯片安装于第二刚性载板上;S20.将第一颗粒物堆叠于待封装芯片和第二刚性载板上,将第一刚性载板倒扣盖合于第二刚性载板上方并压紧,使第一颗粒物无法发生移动;S30.在第一刚性载板侧部或上部注入内混合有第二颗粒物的熔融态塑封料,第一颗粒物的颗粒直径大于第二颗粒物的颗粒直径;S40.保持压力进行可控温度场式升温,使塑封料逐层固化;S50.拆除第一刚性载板、第二刚性载板及临时键合层。本发明采用两种颗粒大小的颗粒物,利用大颗粒材料相互挤压产生压力抑制塑封料及芯片的相对位移与热变形,可以防止芯片发生漂移并减少翘曲,同时利用先部分融化、后逐次固化的方法进一步减少翘曲。

申请人:广东工业大学

地址:510060 广东省广州市越秀区东风东路729号

国籍:CN

代理机构:广州粤高专利商标代理有限公司

代理人:王锦霞

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